检测项目
| 项目名称 | 检测设备 | 设备型号 |
| 深度浓度分析 |
二次离子质谱仪
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IMS 7f-Auto |
| AFM形貌/表面粗糙度 | 原子力显微镜 | Dimension EDGE |
| 多晶粉末物相定性分析 | X 射线衍射仪 |
SmartLab3KW（HRXRD）
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| 薄膜掠入射 | ||
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高分辨标准2θ/ω扫描 |
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摇摆曲线扫描 |
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反射率测试 |
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倒易空间 |
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PHI扫描 |
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极图 |
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拉曼光谱 |
显微拉曼光谱仪 |
RMS 1000 |
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原位拉曼（77-500K） |
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微区mapping |
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喷金 |
冷场扫描电子显微镜 |
Regulus8230 |
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表面形貌 |
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表面元素分析 |
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阴极荧光图谱/微区Mapping |
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室温：电阻率/霍尔迁移率/载流子浓度/霍尔系数 |
霍尔测试仪 |
HS-65-AEM |
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低温（77K）：电阻率/霍尔迁移率/载流子浓度/霍尔系数 |
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变温（3-300K）荧光图谱 |
深紫外变温光谱 检测系统 |
HRS-500MS |
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液体/粉末/薄膜样品：吸光度/反射率/透射率 |
分光光度计 （紫外可见近红外） |
UH4150 |
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稳态荧光：发射谱/激发谱/同步荧光/三维荧光 |
稳态瞬态荧光光谱 |
FLS1000 |
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瞬态光谱：荧光寿命 |
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电压/反向漏电流/辐射效率/光功率/波长/半波宽/饱和数据 |
紫外LED模组辐射 测试系统 |
PCE-2000UV |
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抗静电能力测试（ESD） |
静电放电测试仪 |
ZY920 |
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LED老化测试 |
恒温恒湿老化试验机 |
NK-RT-2-4005A |
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缺陷检测/空洞率测试 |
微焦点X射线检测系统 |
Phoenix X丨aminer |
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晶圆片方阻测试 |
无损方阻测试 |
LEI-1510EB |
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