型号：HS-65-AEM
生产厂家：中科院半导体研究所
启用日期：2019.11
设备参数：
载流子浓度(/cm3)：1E+7—1E+21
迁移率(cm2/V.s)：1—1E+07
电阻率(Ω·cm)： 1E-05—1E+08
样品尺寸：10x10mm—5x5mm
电流输出范围：10pA—100mA
电流输出精度：0.05%
电流测试范围：10pA-20mA
电流测试分辨率：10pA
电流测试精度：0.1%
电压测量精度：0.002%
电压测量分辨率：100nV
电压测量范围：100mV-1000V
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