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扫描电子显微镜

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扫描电子显微镜

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产品描述

型号Regulus8230

生产厂家:日立(中国)有限公司

启用日期2019.04

仪器简介

1. SE分辨率:15LV0.7nmWD4mm);1KV0.9nmWD1.5mm

2. SE显示放大倍率:20-2000000倍(最大放大倍率不保证拍照清晰);

3. SE:15KV270K倍率(WD4mm)下拍摄的标样为调试标准:设备调试现场拍摄结果与仪器自带TEST REPORT结果一致;

4. SE:加速电压:0.01-30KV;引出电流:0.01-30μA;配备减速模式(测试导电性不良样品),可随时开关;

5. SE:可观察范围:X0-150mmY0-150mmR0°-360°;

Z1.5-40mmT0°-26°(HOME位置)

6. SE:可接受SEBSE图像;具有三个二次电子探测器;可扫描模式:RapidFastSlowCSS;最大存储像素:5120×3480

7. SE真空度:离子泵:10-8Pa;样品舱:10-4Pa

8. EDX:能量分辨率优于133eV;可测量元素范围:Be4-Pu4;

9. EDX:配备能谱仪专业分析软件和智能分析系统软件,允许一键自动采集谱图、标定峰值对应元素、各元素含量定量分析;

10. EDX:可进行点线面扫描以及对应的定量分析;可实现面分布3D浏览模式;

11. CL:可自动伸缩反光镜,迅速让SEM回到原始状态;PMT成像,全色态过滤,波长过滤,快速大面积扫描;

12. CL:模块化光学探测部件, 350-950nm光学组件和UV波段光学组件可随时进行增减或更换;

13. CL:可测量角分辨阴极荧光谱;可生成指定的点或者线的可视化光谱,对多个点进行积分。

设备功能:  低、中、高倍率形貌观察 ; 元素分析5B ~ 92U ; 晶体学分析。

附加配置:  能谱,阴极荧光系统,冷台。

设备应用:

各种固体材料的高分辨形貌观察、微区元素分析及晶体学分析(微织构、相鉴定等)。

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