型号：Regulus8230
生产厂家：日立（中国）有限公司
启用日期：2019.04
仪器简介
1. SE分辨率：15LV：0.7nm（WD：4mm）；1KV：0.9nm（WD：1.5mm）；
2. SE显示放大倍率：20-2000000倍（最大放大倍率不保证拍照清晰）；
3. SE:以15KV、270K倍率（WD：4mm）下拍摄的标样为调试标准：设备调试现场拍摄结果与仪器自带TEST REPORT结果一致；
4. SE:加速电压：0.01-30KV；引出电流：0.01-30μA；配备减速模式（测试导电性不良样品），可随时开关；
5. SE:可观察范围：X：0-150mm；Y：0-150mm；R：0°-360°；
Z：1.5-40mm；T：0°-26°(HOME位置)；
6. SE:可接受SE、BSE图像；具有三个二次电子探测器；可扫描模式：Rapid、Fast、Slow、CSS；最大存储像素：5120×3480；
7. SE真空度：离子泵:10-8Pa；样品舱:10-4Pa；
8. EDX：能量分辨率优于133eV；可测量元素范围:Be4-Pu4;
9. EDX:配备能谱仪专业分析软件和智能分析系统软件，允许一键自动采集谱图、标定峰值对应元素、各元素含量定量分析；
10. EDX:可进行点线面扫描以及对应的定量分析；可实现面分布3D浏览模式;
11. CL:可自动伸缩反光镜，迅速让SEM回到原始状态；PMT成像，全色态过滤，波长过滤，快速大面积扫描;
12. CL：模块化光学探测部件， 350-950nm光学组件和UV波段光学组件可随时进行增减或更换;
13. CL：可测量角分辨阴极荧光谱；可生成指定的点或者线的可视化光谱，对多个点进行积分。
设备功能: 低、中、高倍率形貌观察 ; 元素分析5B ~ 92U ; 晶体学分析。
附加配置: 能谱，阴极荧光系统，冷台。
设备应用:
各种固体材料的高分辨形貌观察、微区元素分析及晶体学分析（微织构、相鉴定等）。
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